全球观天下！芯源微：前道涂胶显影设备在28nm及以上工艺节点的多项关键技术方面取得突破

2022-12-13 13:46:22 来源：

(资料图)

12月13日，芯源微(688037.SH)在2022年第三季度业绩说明会上表示，公司前道涂胶显影设备在28nm及以上工艺节点的多项关键技术方面取得突破；光刻胶涂覆缺陷及成本控制技术、在线式工艺缺陷检测技术均达到国际先进水平。前道物理清洗机在自动刷压控制技术上已达到国际先进水平。公司前道offline、I-line、KrF机台均实现了批量销售，下游客户覆盖国内头部逻辑、存储、功率器件等客户，前道Track签单实现了快速放量；前道物理清洗机继续巩固国内市场龙头地位；后道及小尺寸销售也符合公司签单预期。

三季报数据显示，芯源微2022年前三季度公司营业总收入8.97亿元，同比上升63.87%，归母净利润1.43亿元，同比上升169.42%。第三季度营业总收入3.92亿元，同比上升99.93%，归母净利润7362.0万元，同比上升308.63%。前三季度综合毛利率达到40.1%，同比增长0.6个百分点，整体毛利率水平有所提升。研发费用率达到10.57%，芯源微表示，未来公司将继续保持高强度研发。

此外，针对该公司三季报，市场专业人士分析认为，芯源微作为前道涂胶显影设备国产领军者，公司积极丰富前道涂胶显影&清洗设备产品线，成长空间持续打开。1.涂胶显影设备Off-line、I-line、KrF机台均实现批量销售，前道涂胶显影机新签订单规模同比大幅增长，其中I-line、KrF涂胶显影机获得了多家头部晶圆厂的小批量重复订单，向先进制程产品延伸，将彻底打开公司在涂胶显影领域的成长空间。2.清洗设备前道SpinScrubber单片式物理清洗机已较为成熟，成功实现进口替代。2021年募投项目加码市场空间更大的单片式化学清洗机，有望成为第二成长曲线。

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